年产150吨碳微球 半导体空气洁净材料“兰溪开发区造”

公司由杭州启源超材料有限公司全资设立，是一家集高端合成树脂基碳微球材料研发、制造、销售服务于一体的科创型企业。“我们主要从事树脂碳球电子级净化处理的生产加工。”公司总经理钱江介绍，树脂基碳微球技术应用于半导体领域液相、气相分子的吸附、分离与纯化。

在公司生产车间，洁净明亮的产线有序运转。整套设备密闭运行，中控屏上各项工艺参数实时跳动，工作人员紧盯各项关键工序。一颗颗精微的树脂基碳微球在设备中完成加工，经过精细活化、清洗、烘干、包装后，将成为半导体无尘车间吸附净化AMC污染物的核心材料。

AMC是无尘车间内的气态分子污染物，来源分为内部和外部两类。内部来源包括人员、墙面、家具、衣物等释放的物质，以及晶圆生产设备和工艺所用化学品。设备一旦泄漏会直接造成污染；即便没有泄漏，污染物也会扩散转移。若通风设计不合理、气流异常，排出的污染物还会回流至车间。外部来源包括道路、厂区停车场、周边工厂，湖泊、湿地、林地、农田等自然环境也会产生AMC。

先进制程芯片对AMC十分敏感，晶圆厂对其管控要求也很严苛。目前行业普遍要求AMC浓度低于10ppb，这就需要高精度检测手段与超高洁净度的过滤材料实现有效控制。“我们的产品在比肩进口品质的同时，帮助客户降本增效。”钱江表示，同时还能消除进口产品高溢价、交货期长、现场服务不及时等痛点。

目前，国内树脂基碳微球大多应用于锂电池、储能的硅碳负极领域，这类产品主要需满足粉体性能与硅沉积的要求。“我们的产品有所不同：球径可调范围更大，孔隙结构调控更复杂，表面功能改性难度也更高，是专门面向半导体场景开发的。”钱江表示，随着国内芯片先进制程产能持续扩张，半导体领域对碳微球的需求将快速增长。当前，市场仍以进口材料为主，如何加快国产化替代，是行业亟待解决的难题。未来，公司将以技术差异化切入高增长赛道，通过场景深耕成为平台型材料服务商。